반도체/반도체 지식

epitaxy 에피택시 2 - 특징 및 활용

들어가는 글 이번 포스팅에서는 앞서 예고한 것처럼, 에피택셜 박막의 특징과 활용처에 관해 알아보도록 하겠다. 이 글을 읽기 전에 앞서 에피택시에 관해 작성했던 포스팅을 읽고 오시길 추천한다. 에피택셜 박막의 특징은 무엇이고, 어떤 반도체 소자를 제작할 때 에피택셜 박막이 사용되는지 살펴보도록 하겠다. 특히 에피택셜 박막을 형성할 때 발생하는 현상인 autodoping에 관해서도 알아보도록 하겠다. epitaxial layer 에피택셜 박막 특징 일반적으로 형성되는 에피택셜 박막의 특징을 살펴보면, 순도가 높고 오염 및 결함이 적다는 특징이 있다. 에피택셜 박막을 형성할 때, dopant를 함께 넣어 반응시키면 도핑된 에피택셜 박막을 형성 가능하다. 가능한 도핑 농도는 10^14 ~ 10^17 수준으로, ..

2023. 7. 18. 09:00

반도체/반도체 지식

sheet resistance(면저항)과 4-point probe 장비

들어가는 글 sheet resistance(면저항)과 4-point probe 장비에 관해 알아보겠다. 반도체 공정에서는 패턴의 길이나 박막의 두께 등 무수히 많은 종류의 특성을 측정한다. 이번 포스팅에서는 그중 금속 박막 증착 후나 도핑 후에 살펴보는 면저항 (sheet resistance)에 관해 알아보도록 하겠다. 면저항의 의미와 정의 면저항의 의미와 정의에 관해 알아보겠다. sheet resistance, 한국어로는 면저항이라고 하며 기호는 대문자 R에 소문자 s를 붙여서 Rs로 표시한다. 면저항이란 물질의 층 방향 저항을 말한다. 즉, 물질의 표면이 가지는 저항인데, 주로 정사각형 판형 면적의 층 방향 저항을 가리킨다. 위 그림에서처럼 선저항과 비교해 보면 이해하기 쉽다. 우리가 일반적으로 말하..

2023. 7. 6. 00:11