반도체/반도체 지식
반도체 공정 주요 재료 (Polysilicon, Silicon Oxide, Silicon Nitride, Metal, Polymer)
들어가는 글 반도체 공정에서는 Si을 비롯해 매우 다양한 물질이 사용된다. 이번 포스팅에서는, 반도체 공정에서 주로 사용되는 여러 재료들에 관해 알아보도록 하겠다. Si 기반 물질인 polysilicon, silicon oxide, silicon nitride를 비롯하여 metal, polymer에 관해 알아보도록 하겠다. Polysilicon (Poly-Si, 폴리실리콘) polysilicon은 보통 CVD 방식으로 증착된다. polysilicon은 intrinsic stress가 커서 annealing 공정이 필요하다는 특징이 있다. 여기서 intrinsic stress란 박막이 성장하는 과정에서 발생하는 stress로, wafer의 휘어짐을 야기할 수 있다. polysilicon의 대표적인 사용처는..
2023. 7. 11. 09:00