반도체/반도체 지식

epitaxy 에피택시 4 - VPE 공정 과정 (Vapor phase epitaxy)

들어가는 글 앞선 포스팅에서 에피택셜 박막을 형성하는 세 가지 방식인 VPE, MBE, LPE에 관해 살펴봤다. 이번 포스팅에서는 특히 그중 가장 대표적인 방식인 VPE, Vapor phase epitaxy의 공정 과정과 챔버 유형 등에 관해 더 자세히 살펴보도록 하겠다. 그전에 VPE의 기본 개념이 포함된 바로 앞 포스팅을 읽고 오시길 추천한다. Vapor phase epitaxy (VPE) 공정 진행 과정 VPE의 구체적인 공정 과정을 살펴보면 다음과 같다. 우선 챔버 내 불필요한 gas를 제거하고 수소를 공급하기 위해 수소 purge를 진행한다. 그 다음 챔버를 특정 온도까지 가열한다. 기판 표면의 오염과 결함을 제거하기 위해 HCl을 공급해서 기판 표면을 etch 한다. 이때의 화학반응식을 적어보..

2023. 7. 20. 08:00

반도체/반도체 지식

epitaxy 에피택시 3 - 공정 방식 VPE, MBE, LPE

들어가는 글 앞선 포스팅에서 에피택시에 관한 기본적인 개념을 소개했다. 이번 포스팅에서는 에피택셜 박막을 형성하는 세 가지 방식인 VPE, MBE, LPE에 관해 알아보겠다. 그전에 epitaxy에 관해 작성한 시리즈 글들을 보고 오시길 추천한다. epitaxy 에피택시 1 - 개념 들어가는 글 반도체 공정에는 박막을 형성하는 다양한 방법이 있다. 대표적으로 화학반응을 이용한 CVD와 물리적인 충돌을 이용한 PVD가 있다. 이외에도 다른 방식으로 박막을 형성할 수 있는데, selectroing.tistory.com epitaxial layer 에피택셜 박막 형성 방식 에피택셜 박막을 형성하는 방법에는 크게 LPE, MBE, VPE 3가지 방식이 있다. 각 방식에 관해 알아보도록 하겠다. Liquid ph..

2023. 7. 19. 08:00

반도체/반도체 지식

epitaxy 에피택시 2 - 특징 및 활용

들어가는 글 이번 포스팅에서는 앞서 예고한 것처럼, 에피택셜 박막의 특징과 활용처에 관해 알아보도록 하겠다. 이 글을 읽기 전에 앞서 에피택시에 관해 작성했던 포스팅을 읽고 오시길 추천한다. 에피택셜 박막의 특징은 무엇이고, 어떤 반도체 소자를 제작할 때 에피택셜 박막이 사용되는지 살펴보도록 하겠다. 특히 에피택셜 박막을 형성할 때 발생하는 현상인 autodoping에 관해서도 알아보도록 하겠다. epitaxial layer 에피택셜 박막 특징 일반적으로 형성되는 에피택셜 박막의 특징을 살펴보면, 순도가 높고 오염 및 결함이 적다는 특징이 있다. 에피택셜 박막을 형성할 때, dopant를 함께 넣어 반응시키면 도핑된 에피택셜 박막을 형성 가능하다. 가능한 도핑 농도는 10^14 ~ 10^17 수준으로, ..

2023. 7. 18. 09:00

반도체/반도체 지식

epitaxy 에피택시 1 - 개념

들어가는 글 반도체 공정에는 박막을 형성하는 다양한 방법이 있다. 대표적으로 화학반응을 이용한 CVD와 물리적인 충돌을 이용한 PVD가 있다. 이외에도 다른 방식으로 박막을 형성할 수 있는데, 그 중 하나인 epitaxy 에피택시 기술에 관해 알아보도록 하겠다. 에피택시에 관해 3개의 시리즈 글로 살펴볼 것이며, 이번 글에서는 epitaxy 에피택시가 무엇인지, 왜 사용하는지, 종류는 무엇이 있는지 살펴보겠다. 다음 글에서는 에피택시로 만들어진 박막의 활용처와 공정 방식에 관해 살펴보도록 하겠다. epitaxy 에피택시란? 용어의 기원부터 알아보면, epitaxy (이하 에피택시)는 라틴어 어원으로, 정렬시켜 위로 올린다는 의미를 가진다. 에피택시로 (epitaxial growth로) 만들어진 박막을 e..

2023. 7. 17. 00:57