epitaxy 에피택시 4 - VPE 공정 과정 (Vapor phase epitaxy)

들어가는 글 앞선 포스팅에서 에피택셜 박막을 형성하는 세 가지 방식인 VPE, MBE, LPE에 관해 살펴봤다. 이번 포스팅에서는 특히 그중 가장 대표적인 방식인 VPE, Vapor phase epitaxy의 공정 과정과 챔버 유형 등에 관해 더 자세히 살펴보도록 하겠다. 그전에 VPE의 기본 개념이 포함된 바로 앞 포스팅을 읽고 오시길 추천한다. Vapor phase epitaxy (VPE) 공정 진행 과정 VPE의 구체적인 공정 과정을 살펴보면 다음과 같다. 우선 챔버 내 불필요한 gas를 제거하고 수소를 공급하기 위해 수소 purge를 진행한다. 그 다음 챔버를 특정 온도까지 가열한다. 기판 표면의 오염과 결함을 제거하기 위해 HCl을 공급해서 기판 표면을 etch 한다. 이때의 화학반응식을 적어보..