반도체/반도체 지식
Si의 3가지 형태 (단결정, 다결정, 비정질) 1 - 단결정 실리콘
들어가는 글 반도체 소자를 제작하는 과정에서 가장 중요하게 쓰이는 소재는 단연 Si 실리콘이라 볼 수 있다. Si 실리콘으로 반도체 기판을 제작하고, SiO2 실리콘 산화막으로 절연막을, poly-Si 폴리실리콘으로 트랜지스터의 gate를 형성한다. 이렇게 반도체 공정에서 빼놓을 수 없는 소재인 Si 실리콘의 3가지 형태 (단결정, 다결정, 비정질)에 관해 2개의 포스팅에 걸쳐 알아보도록 하겠다. 특히 이번 포스팅에서는 단결정 실리콘에 관해 살펴보도록 하겠다. 요약 실리콘 (이하 Si)는 결정 구조에 따라 3가지 형태를 가진다. 첫째, 모든 영역에서 Si 원자가 규칙적으로 배열된 상태 single crystalline Si (SCS) 단결정 실리콘. 둘째, 일정 부분마다 규칙성을 갖는 상태인 polycr..
2023. 7. 22. 09:00
