반도체/반도체 지식

SIMS (이차이온 질량분석기, Secondary Ion Mass Spectrometry)

들어가는 글 doping 공정 (diffusion 공정, ion implantation 공정)에서는 주입한 dopant(불순물)의 양이 어느 정도 되는지 Dose량을 측정하여 판단한다. 이 Dose량을 측정하기 위해서는 SIMS(이차이온 질량분석기 Secondary Ion Mass Spectrometry)라는 장비가 필요한데, 이번 포스팅에서 SIMS 장비가 무엇인지 알아보도록 하겠다. SIMS (이차이온 질량분석기, Secondary Ion Mass Spectrometry)란? SIMS는 Secondary Ion Mass Spectrometry의 약자로, 이차이온 질량분석기이다. SIMS는 ion beam으로 시료 표면에 충격을 가한 뒤, 시료 표면에서 발생한 2차 이온의 질량을 분석하여 극미량 이온의..

2023. 7. 10. 21:41

반도체/반도체 지식

isolation 공정: STI (Shallow Trench Isolation)

들어가는 글 이전 포스팅에서 isolation 공정 중 과거에 사용되던 기법인 LOCOS 기법에 관해 알아보았다. 이번 포스팅에서는 isolation 공정 중 현재까지 사용되고 있는 최신 기법인 STI (Shallow Trench Isolation) 기법에 관해 알아보도록 하겠다. STI에 관해 살펴보기 전에 isolation의 기본 개념과 LOCOS 기법에 관한 이전 포스팅을 읽어보시길 추천한다. https://selectroing.tistory.com/entry/isolation-%EA%B3%B5%EC%A0%95-LOCOS-LOCal-Oxidation-of-Silicon STI (Shallow Trench Isolation) 개념 STI 기법은 앞서 설명했듯이 LOCOS 기법의 단점인 bird's b..

2023. 7. 7. 08:00