반도체/반도체 지식
Si의 결정구조 (단결정, 다결정, 비정질)
Si의 결정구조 (단결정, 다결정, 비정질) 반도체 제조 과정에서 쓰이는 물질 중 가장 중요한 물질이 무엇이냐 하면, 실리콘(Si)이라고 할 수 있다. 이 글에서는 Si의 3가지 결정구조에 관해 알아보겠다. 단결정 실리콘(single-crystal silicon, SCS), 다결정 실리콘(polycrystalline silicon), 비정질 실리콘(amorphous silicon)이 있다. Si가 사용되는 반도체 공정 반도체를 제조하는데 가장 기본적으로 필요한 재료는 실리콘(Si)이다. 반도체 제조 공정 중 많은 곳에서 Si가 쓰이고 있다. 웨이퍼 제조 공정에서 웨이퍼의 주재료로 Si가 사용된다. 각종 박막 증착 공정에서 Si이 포함된 실레인(silane, SiH4)과 같은 gas를 사용한다. CMP 공..
2023. 2. 20. 11:45